Laser Ablation Time-of-Flight Mass Spectrometry LA-TOF-MS of Nitrogen Doped Diamond-Like Carbon DLN Nano-Layers

• Název česky: Laserová ablační TOF hmotnostní spektrometrie dusíkem dopovaných diamantu podobných uhlíkových nanovrstev
• Autoři: HAVEL Josef; BURŠÍKOVÁ Vilma; ŘEHULKA Pavel; CHMELÍK Josef; ALBERTI Milan; ŠPALT Zbyněk; JANČA Jan
• Rok publikování: 2007
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Journal of Physics and Chemistry of Solids
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: http://www.elsevier.com
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: Diamond like thin films; Amorphous materials; Vapor deposition
• Popis: DLC a DLN vrstvy byly připraveny technikou PECVD a analyzovány pomocí LA-TOF hmotnostní spektroskopie. Touto metodou byly detekovány různé spécie, např. o složení Cn+ (n = 4 - 30), Sin+ (n = 2, 3),SinH+ (n = 2, 3), SiOK+, Si3H4+, Si2N+, Si2NH2+, and Si3C+.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek