![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
DEPOSITION OF THIN FILMS IN ATMOSPHERIC PRESSURE GLOW DISCHARGE IN N2 + HMDSO + O2 ATMOSPHERE
Název česky | Depozice tenkých vrstev v doutnavém výboji za atmosférického tlaku ve směsi N2 + HMDS + O2 |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2008 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Chemické Listy, II Central European Symposium on Plasma Chemistry 2008 |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | plasma deposition |
Popis | TENKÉ VRSTVY BYLY DEPONOVÁNY VE SMĚSI N2 + HMDSO + O2. TVRDOST TĚCHTO VRSTEV VZROSTLA OPROTI VRSTVÁM DEPONOVANÝM VE SMĚSI N2 + HMDSO. |
Související projekty: |