Informace o projektu
Depozice tenkých vrstev v dielektrických bariérových výbojích za atmosférického tlaku
- Kód projektu
- GA202/06/1473
- Období řešení
- 1/2006 - 12/2008
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
- Klíčová slova
- depozice, tenké vrstvy, bariérové výboje
Cílem projektu je studium depozice tenkých vrstev v dielektrických bariérových výbojích hořících za atmosférického
tlaku. Pro depozice budou zvoleny takové typy výboje, které produkují homogenní plazma, aby rovněž deponované
vrstvy byly homogenní. Budou studovány možnosti depozice tenkých vrstev se specifickými vlastnostmi, např. vysoká tvrdost a otěruvzdornost vrstev atd. Vlastnosti výbojů budou charakterizovány pomocí elektrických měření a optické emisní spektroskopie. Připravené tenké vrstvy budou zkoumány různými diagnostickými metodami – morfologie povrchu bude studována pomocí AFM a SEM, chemické složení vrstev pomocí XPS a RBS, dále bude měřena mikrotvrdost, modul pružnosti vrstev a povrchová energie vrstev.
Publikace
Počet publikací: 20
2009
-
The transition between different modes of barrier discharges at atmospheric pressure
Journal of Physics D: Applied Physics, rok: 2009, ročník: 42, vydání: 8
2008
-
DEPOSITION OF THIN FILMS IN ATMOSPHERIC PRESSURE GLOW DISCHARGE IN N2 + HMDSO + O2 ATMOSPHERE
Chemické Listy, II Central European Symposium on Plasma Chemistry 2008, rok: 2008, ročník: 1, vydání: 16
-
DEPOSITION OF THIN FILMS IN ATMOSPHERIC PRESSURE HOMOGENEOUS DISCHARGE
Proccedings of HAKONE X, rok: 2008
-
DEPOSITION OF THIN FILMS IN ATMOSPHERIC PRESSURE HOMOGENOUS DISCHARGE IN N2 + HMDSO + O2 ATMOSPHEREIN N2 + HMDSO + O2 ATMOSPHERE
Chemické Listy, II Central European Symposium on Plasma Chemistry 2008, rok: 2008, ročník: 1, vydání: 16
-
NUMERICAL SIMULATION OF ATMOSPHERIC PRESSURE TOWNSEND DISCHARGES IN NITROGEN WITH HYDROGEN GAS ADMIXTURES
Proccedings of HAKONE X, rok: 2008
-
Radial Structure of RF Discharge in Neon
2nd Central European Symposium on Plasma Chemistry - Book of Extended Abstracts, rok: 2008
2007
-
Collisional radiative model of neon discharge: determination of E/N in the positive column of low pressure discharge
Journal of Physics D: Applied Physics, rok: 2007, ročník: 40, vydání: 4
-
Deposition and analysis of thin films produced in atmospheric pressure glow discharge
Proceedings of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases, rok: 2007
-
Deposition of thin films on glass substrate in atmospheric pressure glow discharge
Book of Contributed Papers of The 3rd Seminar on New Trends in Plasma Physics and Solid State Physics, rok: 2007
-
Determination of electron temperature in neon RF discharge by means of collisional-radiative model
Proceedings of ICPIG XXVIII, rok: 2007