Spectroscopic ellipsometry and polarimetry for materials and systems analysis at the nanometer scale: state-of-the-art, potential, and perspectives

• Název česky: Spektroskopická elipsometrie a polarimetrie materiálů and systémová analýza na nanometrové škále: současný stav, potenciál a perspektivy
• Autoři: LOSURDO Maria; HEMZAL Dušan; BERGMAIR Michael; HUMLÍČEK Josef; BRUNO Giovanni; CATELLAN D.; COBET C.; DE MARTINO A.; FLEISCHER K.; DOHCEVIC-MITROVIC Z.; ESSER N.; GAILLET M.; GAJIC R.; HEMZAL Dušan; HINGERL K.; HUMLÍČEK Josef; OSSIKOVSKI R.; POPOVIC Z.V.; SAXL O.
• Rok publikování: 2009
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Journal of Nanoparticle Research
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: Spectroscopic ellipsometry; Polarimetry; Nanomaterials; Nanoparticles; Thin films; Optical characterization; Nanometrology.
• Popis: Tato práce diskutuje základy, aplikace, potenciál, omezení a perspektivy polarizačních reflexních technik pro charakterizaci materiálů a systémů na nanometrovém měřítku.

Související projekty

• Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur