Plasma treatment of silicon surface

• Název česky: Plazmová úprava povrchu křemíku
• Autoři: SKÁCELOVÁ Dana; HANIČINEC Martin; SŤAHEL Pavel; ČERNÁK Mirko
• Rok publikování: 2010
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Potential and Applications of Thin Ceramic and Metal Coatings
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: silicon surface - dielectric barrier discharge - plasma treatment
• Popis: Příspěvek se zaměřuje na plazmovou úpravu povrchu krystalického křemíku. Plazma bylo buzeno Difúzním Koplanárním Povrchových Bariérovým Výbojem (DCSBD) za atmosférického tlaku ve vzduchu. Pomocí metody kontaktních úhlů byla studováná povrchová energie a pomocí mikroskopie atomárních sil (AFM) byla zkoumána drsnost povrchů křemíku před a po plazmové úpravě.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Tvorba nano-vrstev a nano-povlaků na textiliích s využitím plazmových povrchových úprav za atmosférického tlaku