Informace o publikaci
Role vodíku na strukturální změny SiGe:H vrstev
| Autoři | |
|---|---|
| Rok publikování | 2011 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | Sborník příspěvků 5. České fotovoltaické konference |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | hydrogen; thin films; SiGe |
| Popis | Příspěvek je zaměřen na studium vlivu role vodíku na vlastnosti tenkých vrstev SiGe:H. Pro zjištění optoelektronických vlastností vrstev byly použity metody IČ, PDS, CPM, a dynamická intendační metoda pro stanovení mechanických vlastností. Navíc byly vzorky podrobeny měření termální desorpce vodíku. Výsledky ukazují na různé zabudování vodíku se změnami depozičních podmínek. |
| Související projekty: |