Boron-based thin layers deposited by RF plasma jet with slit nozzle

• Název česky: Tenké vrstvy na báze bóru deponované RF plazmovou štrbinovou tryskou
• Autoři: PIJÁKOVÁ Barbora; ALBERTI Milan; ALBERTI Milan; KLÍMA Miloš; KLÍMA Miloš
• Rok publikování: 2016
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: HAKONE XV: INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON HIGH PRESSURE LOW TEMPERATURE PLASMA CHEMISTRY: WITH JOINT COST TD1208 WORKSHOP: NON-EQUILIBRIUM PLASMAS WITH LIQUIDS FOR WATER AND SURFACE TREATMENT
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: friction coefficient; RF plasma jet; trimethyl borate
• Popis: Příprava tenkých vrstev s nízkým koeficientem tření pomocí systému RF atmosferických plazmových štěrbinových trysek s přídavkem aerosolu organického prekurzoru.

Související projekty

• CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
• Research center of surface treatment
• Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy