Informace o publikaci

Boron-based thin layers deposited by RF plasma jet with slit nozzle

Název česky Tenké vrstvy na báze bóru deponované RF plazmovou štrbinovou tryskou
Autoři

PIJÁKOVÁ Barbora ALBERTI Milan ALBERTI Milan KLÍMA Miloš KLÍMA Miloš

Rok publikování 2016
Druh Článek ve sborníku
Konference HAKONE XV: INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON HIGH PRESSURE LOW TEMPERATURE PLASMA CHEMISTRY: WITH JOINT COST TD1208 WORKSHOP: NON-EQUILIBRIUM PLASMAS WITH LIQUIDS FOR WATER AND SURFACE TREATMENT
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova friction coefficient; RF plasma jet; trimethyl borate
Popis Příprava tenkých vrstev s nízkým koeficientem tření pomocí systému RF atmosferických plazmových štěrbinových trysek s přídavkem aerosolu organického prekurzoru.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info