Time-resolved sputtered species number density in Ar/N2 HiPIMS

• Název česky: Časově rozlišená studie hustoty rozprášených častíc v Ar/N2 HiPIMS procesu
• Autoři: BERNÁTOVÁ Katarína; KLEIN Peter; FEKETE Matej; HNILICA Jaroslav; VAŠINA Petr
• Rok publikování: 2021
• Druh: Další prezentace na konferencích
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: Online prezentace popísala časový vývoj hustoty rozprašovaných titanových atomů a titanových iontů v oblasti terče a substrátu, pro čtyři různé hodnoty průtoku dusíku a pro dva různě intenzivní pulzy.

Související projekty

• Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev
• R&D centre for plasma and nanotechnology surface modifications