Informace o publikaci
Influence of Substrate Emisivity on Plasma Enhanced CVD
| Autoři | |
|---|---|
| Rok publikování | 1998 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | ESCAMPIG 98 |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | plasma enhanced CVD |
| Popis | Influence of Substrate Emisivity on Plasma Enhanced CVD |