Informace o publikaci
Influence of Substrate and Electrode Emissivity on Plasma Enhanced CVD
| Autoři | |
|---|---|
| Rok publikování | 1998 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | Proceeding of Thin Film Nucleation Growth and Analysis |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | PECVD |
| Popis | Influence of Substrate and Electrode Emissivity on Plasma Enhanced CVD |