Deposition of CNx Films in Inductively Coupled RF Discharge

• Autoři: ZAJÍČKOVÁ Lenka; ELIÁŠ Marek; BURŠÍKOVÁ Vilma; JANČA Jan; LORENC Michal
• Rok publikování: 1999
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceedings of ICPIG XXIV
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Popis: Deposition of CNx Films in Inductively Coupled RF Discharge

Související projekty

• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek