Diagnostics of Radio Frequency Oxygen Plasma by Optical Emission Spectroscopy

• Autoři: SUBEDI Deepak Prasad; ZAJÍČKOVÁ Lenka; BURŠÍKOVÁ Vilma; JANČA Jan
• Rok publikování: 2001
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: WDS'01 Proceedings of Contributed Papers
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: rf plasma; emission sectroscopy; rotational temperature; actinometry
• Popis: Low pressure radio-frequency plasma produced in a capacitively coupled planar reactor has been studied by optical emission spectroscopy. Rotational temperature of oxygen molecule has been estimated at pressure 37 Pa and rf power 100-450 W. Concentration of atomic oxygen atom was monitored by actinometry.

Související projekty

• Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
• Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek