REFRACTORY METAL FILM DEPOSITION BY THERMIONIC VACUUM ARC METHOD

• Název česky: Depozice kovových vrstev metodou vakuového termoionického oblouku
• Autoři: MUSA G.; MUSTATA I.; LUNGU C.P.; SURDU BOB C.; VLADOIU R.; BURŠÍKOVÁ Vilma
• Rok publikování: 2005
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: 17th ISPC
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: REFRACTORY METAL; FILM DEPOSITION; THERMIONIC VACUUM ARC METHOD
• Popis: Depozice kovových vrstev metodou vakuového termoionického oblouku

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů