Informace o publikaci
Deposition of thin films on glass substrate in atmospheric pressure glow discharge
| Název česky | Depozice tenkých vrstev v atmosférickém doutnavém výboji na skleněný substrát. |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2007 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | Book of Contributed Papers of The 3rd Seminar on New Trends in Plasma Physics and Solid State Physics |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | atmospheric pressure glow discharge; thin films |
| Popis | Doutnavý výboj za atmosférického tlaku byl použit k depozici tenkých vrstev na skleněný substrát z monomeru hexamethyldisiloxanu (HMDSO). |
| Související projekty: |