Measurement of plasma potential waveform by an uncompensated probe

• Název česky: Měření průběhu potenciálu plazmatu nekompenzovanou sondou
• Autoři: DVOŘÁK Pavel
• Rok publikování: 2010
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Plasma Sources Sci. Technol.
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: plasma potential; probe; higher harmonic frequencies; capacitively coupled discharge; plasma
• Popis: Měření průběhu potenciálu plazmatu (vf. změn během jedné periody) nekompenzovanou sondou s malou impedancí.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek