Higher harmonic frequencies in capacitive discharges

• Název česky: Vyšší harmonické frekvence v kapacitních výbojích
• Autoři: DVOŘÁK Pavel; VAŠINA Petr; BURŠÍKOVÁ Vilma; ŽEMLIČKA Radek
• Rok publikování: 2010
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Bulletin of the American Physical Society 55 (2010), CTP142
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: higher harmonic frequencies; plasma
• Popis: Překvapivé chování vyšších harmonických frekvencí při změně koncentrace elektronů a příklady praktických procesů, k jejichž monitorování lze vyšší harmoniky použít.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích
• Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev