Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge during deposition of nanocomposite CNx/SiOy films

• Autoři: ELIÁŠ Marek; KUDRLE Vít; BURŠÍKOVÁ Vilma; JANČA Jan
• Rok publikování: 2000
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceedings of 20th Summer School and International Symposium on the Physics of Ionized Gases
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Popis: Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge during deposition of nanocomposite CNx/SiOy films

Související projekty

• Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze
• Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev
• Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů
• Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
• Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek