Preparation of enhanced CN-based hard coatings by PECVD

• Autoři: ELIÁŠ Marek; ZAJÍČKOVÁ Lenka; BURŠÍKOVÁ Vilma; KUDRLE Vít; KLAPETEK Petr; JANČA Jan
• Rok publikování: 2001
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceedings of 15th International Symposium on Plasma Chemistry
• Fakulta / Pracoviště MU: Fakulta informatiky
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech

Přiložené soubory

• ispc01.zip

• Popis: Preparation of enhanced CN-based hard coatings by PECVD

Související projekty

• Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
• Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev
• Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů
• Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek