Nanocrystalline layer deposition by organometallic compound deposition in microwave discharges

• Název česky: Depozice kovových nanokrystalických vrstvev v mikrovlnných výbojích
• Autoři: JAŠEK Ondřej; SYNEK Petr; KUDRLE Vít; ZELINA Peter; BURŠÍKOVÁ Vilma; DAVID Bohumil; PIZÚROVÁ Naděžda; HANZLÍKOVÁ Renata; REK Antonín
• Rok publikování: 2010
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Potential and applications of surface nanotreatment of polymers and glass : Book of Extended Abstracts
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: nanocrystalline layer; iron pentacarbonyl; plasma; low-pressure discharge; microwave discharge
• Popis: Mikrovlnný plasmový torch (2,45 GHz, 300 W) operující při atmosférickém tlaku a nízkotlaký (několik kPa) výboj s povrchovou vlnou boli použité na depozici kovové nanokrystalické vrstvy na substráty jako křemík a sklo. Oba výboje byly zapáleny v argonovém plasmatu a do výboje byla následně přidaná organometalická sloučenina. V připadě plasmového torche se teplota pohybovala od 100 do 700 stupňů Celsia. Deponované filmy byly analyzované skenovacím elektronovým mikroskopem (SEM) a rentgenovou spektroskopií EDX. Určeny byly také mechanické vlastnosti vrstev.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Syntéza magnetických nanočástic na bázi Fe v nízkoteplotním mikrovlnném plazmatu
• Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
• Syntéza uhlíkových nanotrubek plazmochemickou metodou a studium jejich funkčních vlastností