Morphological study of nanocrystalline TiC/a-C:H composites deposited by hybrid PVD-PECVD process

• Autoři: VAŠINA Petr; SOUČEK Pavel; SCHMIDTOVÁ Tereza; BURŠÍKOVÁ Vilma; SCHÄFER Jan
• Rok publikování: 2011
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: This paper presents the morphological study of nanocrystalline TiC/a-C:H composites deposited by hybrid PVD-PECVD process.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
• CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy